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为什么氦质谱检漏仪要用外置标准漏孔标定

2020-09-30作者:浏览次数:185
输入错误的内置漏孔漏率值,检漏仪自检时一般也能通过;说明检漏仪是对比性测试设备,检漏仪本身并不知道检漏信号对应的漏率是多少,必须要有参照物-标注漏孔来确定。

任何氦质谱检漏仪准不准,检测标准是对标准漏孔读值准不准,无其他标准。 任何检漏仪不承诺保证E~2到E-12的全量程一致性和精确性。检漏仪内置标准漏孔一般为E-7mbar.L/sec,自检通过,如内置漏孔为5.0E-7mbar.L/sec,并不能保证E-6或E-8或其他量级测量的准确性。

甚至E-7内置漏孔准确,并不能保证该检漏仪测量E-7量级就是准确的,因为内置漏孔连接检漏仪阀体的接口与检漏仪的捡漏口不是同一接口。一个1.5E-7的内置漏孔,如连接检漏仪阀体的接口存在5E-7的泄漏,自检时输入的漏率因为7.5E-7,但检漏仪仍然认为是1.5E-7;这就导致检漏仪自检通过但整个线性出现偏差和混乱。

正确的方法是针对产品的漏率要求,用接近的外置校准漏孔标定检漏仪。
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