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螣芯jetplasma等离子清洗机Triton40可替代MarchAP600
螣芯jetplasma等离子清洗机Triton40可替代MarchAP600
螣芯jetplasma等离子清洗机Triton40可替代MarchAP600
螣芯jetplasma等离子清洗机Triton40可替代MarchAP600

螣芯jetplasma等离子清洗机Triton40可替代MarchAP600

上市时间:2020-11-18
型号:Trion40 价格:¥350000.00元/
品牌:螣芯科技 产品资料:暂无内容
展商性质:供应商 更新时间:2020-10-20 19:06
产地:国内-上海 浏览次数:260
电话:13122976482 传真:
娄经理 (建议您点击在线询价,以便安排专业人员与您取得联络,谢谢!)
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可替代诺信March AP600等离子清洗机,性价比高,清洗效果稳定,配件均采用一线品牌。
Triton系列平台的设计理念源于为半导体﹑平面显示、光伏、微电子机械系统、医疗及先进材料等领域提供一个泛用型的工艺平台,以实现等离子表面处理以及等离子光刻胶去除为主的多类工艺。



表面清洁与活化


• 材料表面有机污染物的去处

• 去处纳米级金属氧化层

• 增强表面胶体流动性,消除涂层、塑封料的分层

• 提升表面能,实现难粘材料的有效结合

• 表面粗化与微蚀:消除表面应力,使材料更易结合。

表面粗化及微刻蚀

• 纳米级表面粗化,应力释放。

• 光刻胶去除

• 对多种材料的选择性刻蚀


设备特点

• 设计紧凑的桌面型等离子工艺平台,易于与厂务端连接

• 可靠的腔体结构设计,确保工艺腔体具备一流的气密性与耐用性

• 优秀的进气、排气设计,保证工艺过程的均匀性

• 支持多种电极形式与最多4路工艺气体,适用于处理各种产品并适应多种工艺要求

• 直观的图形控制界面,通过触屏可实时观察、控制工艺过程

• 13.56MHz射频电源与自动匹配系统,具有优异的稳定性和可重复性


T40 标准技术规格

设备尺寸

宽*深*高

635W x 860D x 690H mm

腔体

尺寸

340W x 456D x 280H mm

容积

43L

最大电极数量

8

电极间距

57mm

电极

功率电极尺寸

226W x 320D mm

接地电极尺寸

1300W x 320D mm

射频系统

射频功率及频率

300W/13.56MHz

气体控制

气路配置

标配两路 / 最多可扩充至4路气体

真空泵

标准配置

25m³/h 油泵

厂务要求

供电要求

220V, 10A, 50Hz, Single-Phase, 13AWG, 3-Wire

工艺气体接口及尺寸

1/4英寸卡套接口

工艺气体种类及纯度

CF4 = 99.97%; O2 = 99.996%;  N2 = 99.99%;

Ar = 99.999%;  其余气体请咨询JETPLASMA

工艺气体压力

15~20 psig

吹扫气体接口及尺寸

1/4英寸卡套接口

吹扫气体种类及纯度

N2=99.99%

吹扫气体压力

15-60 psig

气动用接口及尺寸

1/4英寸卡套接口

气动用气体及压力

CDA, 60~90 psig

排气口接口及尺寸

KF25

环境温度

5~40℃

相对湿度

40~60%


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