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简介:EUV 极紫外光刻技术越来越多地被用于支持 <10nm 工艺技术的关键尺寸图案. 管理这些价值超过 2亿美元的光刻机的运行时间和生产量对晶圆厂的经济至关重要. 上海...
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简介:半导体和薄膜太阳能工艺使用并产生各种工艺气体和颗粒材料副产品, 有害气体必须以受控方式进行处理. 许多废料的处理受环境法规的规定,如美国 NESHAP 标准. ...
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简介:上海伯东代理日本 Atonarp 过程控制质谱仪 Aston™ 专为半导体生产而设计, 作为一个强大的平台, Aston™ 可以取代多种传统工具, 提供半导体制程中 ALD, CVD, ...
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简介:上海伯东代理日本 Atonarp 过程控制质谱仪 Aston™, 通过使用分子传感技术, 提供半导体制程中 ALD, CVD, 蚀刻, ALE 和腔室在大批量生产中的气体侦测分析, 实...
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