Park NX-Hivac通过为失效分析工程师提供高真空环境来提高测量敏感度以及原子力显微镜测量的可重复性。与一般环境或干燥N2条件相比，高真空测量具有准确度高、可重复性好及针尖和样本损伤低等优点，因此用户可测量各种故障分析应用中许多信号响应，例如扫描扩散电阻显微术(SSRM)的掺杂物浓度。
Park NX-Hivac使得真空环境中高精确度和高分辨率测量的材料科学研究远离氧气与其它药剂的影响。
Park NX-Hivac用于失效分析的高真空扫描，先进的StepScan自动化扫描和更快的激光校准技术，多样品模块，Park招牌技术便捷的针尖替换，大型真空腔300mm X 420mm X 320mm提供超长观测距离的同轴光学设备，用于提高灵敏度的高真空SSRM。
